光學(xué)濾光片的機械性能是與濾光片光學(xué)性能同樣重要的產(chǎn)品質(zhì)量要素，光學(xué)濾光片包括膜層的硬度和光學(xué)濾光片膜層牢固度。
濾光片硬度是由濾光片膜層材料性能和膜層內(nèi)部結(jié)構(gòu)的緊密程度共同決定的宏觀性能。因此濾光片高硬膜層首先要選用高硬度材料來制造，為濾光片膜層高硬度提供先天條件。當(dāng)然，更為重要的是濾光片膜層內(nèi)部結(jié)構(gòu)的緊密程度，即濾光片膜層的填充密度必須達到較高的水平，才能保證由高硬度先天條件材料制造的濾光片膜層仍然是高硬度的。
濾光片牢固度是指膜層對于基片的附著的黏接程度。濾光片牢固度主要由膜層與基片之間結(jié)合力的性質(zhì)來決定，化學(xué)鍵力的結(jié)合要比物理性質(zhì)的范德華力的結(jié)合牢固得多。此外，還受到基片表面的清潔程度和成膜粒子的遷移能，特別是與注入效應(yīng)有關(guān)的遷移能分量的大小的影響。帶電離子沉積技術(shù)，如濺射、離子鍍、離子輔助鍍，都獲得了比單純用熱蒸發(fā)工藝有強的膜層牢固度的實驗結(jié)果已經(jīng)充分證實了注入效應(yīng)對于提高膜層牢固度的重要作用。
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